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真空泵的保养

　真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期

真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏

定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养；或者根据实际使用工况进行保养。

    简析真空技术的应用与发展

    冶金工业：冶金工业需用到的真空技术包括钢液真空处理、真空熔炼、真空感应熔炼、感应壳熔炼、真空电弧重熔等。其中，真空钢液处理是冶金工业很重要的一方面。这项技术主要应用于原子能工业，宇宙空间技术、海洋钻探技术、燃气发动机技术、汽车工业、飞机制造业、高速列车等高技术工业中，对钢中的某些元素进行控制和处理，对钢铁材料的寿命、可靠性提出了越来越高的要求。目前各种应用行业拥有现代化的真空处理设备，大大降低了钢中氮、氢、氧等杂质的含量，处理水平也不断提高。美、日、德等国已经将此项技术作为***，并对其轴承钢、电工用钢和大型锻件采用１００％的真空脱气处理，完成现代化钢铁工业的基本要求。

　　电子与微电子工业：微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，日本真空厂商的销售额中60%左右是面向电子工业，而当今的超大规模集成电路大约有３／４的工序需要有真空条件。

　　机械制造行业：这是一个带动性强、带动作用广的产业，目前欧债危机的阴霾仍未散去，各国积极将机械制造产业作为提振经济的重点。它的技术应用一般集中在真空热处理、真空钎焊、真空涂层刀具等传统领域。真空热处理是指将真空技术与热处理技术紧密结合的新型热处理技术。它对工具、模具和精密耦件的处理可起到提高使用寿命、加速化学热处理的吸附和反应过程等特点。另外，它本身工艺操作灵活、无公害的特点成为行业常用的处理手段。

安捷伦真空泵维护保养

1.根据需耍检杏油位，至少每列一次，

2.报椐具体应用更换油，3-6个月，

3.每次史换油.检测并淸洁入口过滤器.

4.每年淸洁或更換气奨过滤器，

5.每年消洁马达风扇盖子和外壳，

6.消洁和对泵做***检資并根据需要更换叶片，3-4年左右

7.更换电咨器.4年左右

8.测试马达状况，4年左右，

■保养前，洁泵体，切断电源，it泵冷却，换_F的密封件不要屯复使用，

■保养后，确认转向，检杏泄玆，打开气镇阀运行1,5-2,5h +关闭气镇阀运行0,5h

环境对真空泵的影响因素

1、对工作蒸汽及其干度的研究：

蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响,因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力,但所用真空泵结构设计已定型,过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外,要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定,建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽,这样蒸汽压力就不会出现波动,真空泵性能稳定。

2、对循环冷却水要求的研究：

冷却水供量不足,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度迅速下降,甚至蒸汽会返入抽气管。冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用，冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝，真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压，因此冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度，才能保证泵体的正常作业。

3、对真空泵系统密封要求的研究：

真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中***的主力泵种。近 年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

4、对喷嘴要求的研究：

喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。

6、环境的影响：

环境的影响主要是指被抽气体对体系的污染，在钢液处置过程中，钢液会放出很多的气体，同时也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵，这些小颗粒会堆积粘附在泵体上，减小了抽气管路流导，延长了抽气时间，下降了泵的抽气功能。