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氦质谱捡漏仪检漏方法

氦质谱检漏仪，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。在质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

氦质谱检漏仪适用领域

氦质谱检漏仪，在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题,同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏。 氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用。

对检漏方法的具体要求

1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2、反应时间短，可以提高工作效率；

3、能定位、定量，不仅能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；

6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；

7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。