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发布时间:2021-12-07 02:45:00 作者:华诚浩达
氦质谱检漏仪概述
氦质谱检漏仪为气体工业领域名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦质谱检漏仪的应用
氦质谱检漏仪的行业应用,KM6空间环模装置设备庞大,主真空室直径12m、高22m,另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3,分系统多,结构复杂,各种接口焊缝相加有几千米长,采用氦质谱检漏仪负压检漏,每条焊缝由检漏盒密封,配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后,充入一定压力氦气,关闭预抽阀,开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高,相对检漏仪又有一定压力,因此有效提高了检漏灵敏度。航天工业中,各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。
氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪真空系统一般包括:
1、主泵:一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa,其抽速应导气载匹配。
2、前级真空泵:一般采用旋片式机械真空泵,在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa,抽速导主泵匹配。
3、预抽真空泵:一般与前级真空泵共用一个泵,也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵,其抽速视被检件大小而定,因此预抽真空泵大都由用户自配。
4、冷阱:分子泵型真空系统一般不加冷阱。护散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间,使三者被冷阱隔离。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室,保持质谱室的清洁,并帮助扩散泵迅速获得较高真空。
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