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发布时间:2021-10-06 07:43:00 作者:华诚浩达
氦质谱检漏仪特点
1,气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检漏仪的应用
氦质谱检漏仪的行业应用,KM6空间环模装置设备庞大,主真空室直径12m、高22m,另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3,分系统多,结构复杂,各种接口焊缝相加有几千米长,采用氦质谱检漏仪负压检漏,每条焊缝由检漏盒密封,配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后,充入一定压力氦气,关闭预抽阀,开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高,相对检漏仪又有一定压力,因此有效提高了检漏灵敏度。航天工业中,各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。
氦质谱检漏仪的保养注意事项
1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间
2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。
3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自身检漏,发现漏点后要及时取下清洗或固紧,以免在检漏时干扰检漏工作。
4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)
5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦检漏仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用此仪器。
6.使用时,注意观察仪器的运行情况,一旦发现问题(如较大振动、高噪音等),仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源,并排除故障。
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