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    简析真空技术的应用与发展

    冶金工业：冶金工业需用到的真空技术包括钢液真空处理、真空熔炼、真空感应熔炼、感应壳熔炼、真空电弧重熔等。其中，真空钢液处理是冶金工业很重要的一方面。这项技术主要应用于原子能工业，宇宙空间技术、海洋钻探技术、燃气发动机技术、汽车工业、飞机制造业、高速列车等高技术工业中，对钢中的某些元素进行控制和处理，对钢铁材料的寿命、可靠性提出了越来越高的要求。目前各种应用行业拥有现代化的真空处理设备，大大降低了钢中氮、氢、氧等杂质的含量，处理水平也不断提高。美、日、德等国已经将此项技术作为***，并对其轴承钢、电工用钢和大型锻件采用１００％的真空脱气处理，完成现代化钢铁工业的基本要求。

　　电子与微电子工业：微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，日本真空厂商的销售额中60%左右是面向电子工业，而当今的超大规模集成电路大约有３／４的工序需要有真空条件。

　　机械制造行业：这是一个带动性强、带动作用广的产业，目前欧债危机的阴霾仍未散去，各国积极将机械制造产业作为提振经济的重点。它的技术应用一般集中在真空热处理、真空钎焊、真空涂层刀具等传统领域。真空热处理是指将真空技术与热处理技术紧密结合的新型热处理技术。它对工具、模具和精密耦件的处理可起到提高使用寿命、加速化学热处理的吸附和反应过程等特点。另外，它本身工艺操作灵活、无公害的特点成为行业常用的处理手段。

真空泵噪音控制

真空泵设备是工业企业中较为常见的设备，也是噪声治理中比多的噪音源，真空泵在运行时噪音值在90分贝以上。给周围工作人员和厂区环境带来严重的噪音危害。真空泵隔声处理方案是解决真空泵噪声的有效方案，经过治理后噪音值低于55分贝，达到工作人员以及厂方满意的效果。

一、真空泵隔声处理项目背景

杭州某机械厂内真空泵设备噪音严重超标，经实地检测噪音值在95分贝，给周围环境与工作人员带来较为严重的噪音影响。

二、真空泵隔声处理方案

1.噪音源

真空泵噪声主要是是运行时产生的，机械性噪声和真空泵排气时的空气性噪声，以及真空泵管道引起的振动噪声等，主要的噪声类型是低频噪声，在治理时要从隔声减振等方面进行治理。

2.减振垫

对于真空泵本体的振动噪声，可以在真空泵本体及机房地面使用减振垫，以及在泵体下方安装减振器，同时对泵体管道使用弹性支撑架，并使用阻尼减振材料对管道进行包扎，降低整个设备的振动噪声问题。

3.隔音房

在机房内对机房进行隔音装修，在室内墙壁、地面使用吸隔音材料和减振材料，使用隔音门窗，对机房通风口使用消声器等，大幅度降低真空泵噪声的外泄。

真空泵的排气过滤

由于真空泵运行时需要使用润滑油、真空泵油等，所以其排出的气体中会含有很多油雾颗粒，如果不进行分离处理，那么这些油雾颗粒就会随着废气一起排出来，污染工厂的空气和环境。而且真空泵油使用得非常快，每天都要给真空泵加油，于是就需要真空泵滤芯对排放出的气体进行过滤。废气在排出时需要通过真空泵滤芯的滤纸，制作滤纸的材料很特殊，具有非常高的精度，而油雾颗粒是液体形态，不能直接穿过滤纸，所以就只能被过滤出来，附着在滤纸上面，积少成多，慢慢地，这些油雾颗粒会聚成油再流回真空泵内部，而过滤后不含油雾颗粒的气体则顺利通过滤纸排出。