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扩散泵超高真空机组

以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。

为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的超高真空。

无油超高真空机组

不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:

①可获得清洁真空、无污染源;

②当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;

③如突然抽气停止，不会污染系统;

④无油、无声、无振动，改善了工作环境;

⑤极限真空度高，抽速大，抽气时间短。

真空机组的构成与分类

真空机组一般由下列元件构成：各种真空泵；真空测量装置；真空阀门；真空管道和一些其它元件，例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

按机组的工作压力分，有粗真空机组(>1330Pa)；低真空机组(1330~0.13Pa)；高真空机组(0.13~1.3×10-6Pa)；超高真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11Pa)；极高真空机组(<1.2×10-11Pa)。

真空机组

漏分内漏和外漏;外漏比较好检测，内漏则难办些。外漏较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。内漏则要从不同真空工作区域分区排查，在真空系统达到一定压力值后，分别启动卷绕和蒸发系统，观察真空计的读数在短暂下降后有无爬升，可以初步判断内漏点方向。内漏多发生在有水冷却点的设备上，在查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀等，具备以上条件基本可以推断内漏，先将腔体清理干净，再通冷却水，仔细查看通水管路有无湿润点，湿润处就是漏点。