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真空泵的基础单位

1、真空泵的极限压强，真空泵的极限压强的单位是PA，指的是真空泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。

2、真空泵的抽气速率，真空泵的抽气速率单位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩的位置测得的平衡压强之比。简称为泵的抽速。

3、真空泵的抽气量，真空泵的抽气量是指泵入口的气体流量。真空泵的抽气量单位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。

4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强是指真空泵无损坏起动并有抽气作用时的压强，单位为Pa。

真空泵选型方法

1、当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

2、真空泵的价格、运转及维修费用。

在考虑到了各种情况后，才能确定一个适应于您的解决方案：

(1) 小的投资费用。

(2) 小的生产运行费用。

(3) 将前两种情况合理均匀分配的可行方案。

真空泵选型

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。